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阴极发光是一种光（guāng）谱分析方法，通（tōng）过电子束轰击材料产生发光后（hòu），用（yòng）来在局部范围内鉴别材料中的点缺（quē）陷和杂（zá）质缺陷，应用于微电子（zǐ），半导体材料，绝（jué）缘体（tǐ），地质学和矿物学（xué）等领域。
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